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芯片半導(dǎo)體專用HMDS蒸鍍真空烤箱

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全功能整合式LCD TOUCH PANEL控制系統(tǒng)(WITH PLC CONTROL)
到達(dá)真空度：低於1 Torr，溫度：MAX.200℃
智慧型程式輸入功能，可供user依不同製程條件改變程序，溫度，真空度及每一程序時(shí)間。
程式自動(dòng)監(jiān)測(cè)並檢知設(shè)定運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)，完善的連環(huán)式保安設(shè)施，絕無安全顧慮
HMDS密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)。
10組程式記憶及自我診斷，故障顯示及排除指示功能
單獨(dú)烤箱密閉性測(cè)試功能，確保HMDS無外漏顧慮。

型號(hào)	內(nèi)尺寸(直徑×深度)(Cm)
VO-30-HMDS	30×30

40 40×40
50 50×50

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